螺桿真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應(yīng)用的干式泵，是一種全新的設(shè)計(jì)，專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中真空問(wèn)題，如粉塵、焦油等。螺桿真空泵采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過(guò)程，泵腔內(nèi)無(wú)軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部閥門(mén)，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng)，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，螺桿壽命增長(zhǎng)。下面給大家詳解螺桿真空泵知識(shí).希望能夠給大家?guī)?lái)幫助.

螺桿真空泵

螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，壽命長(zhǎng)，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。在微電子、半導(dǎo)體、制藥、石油化工、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫(yī)療器械、以及信息工程、生物工程、微電子等100多個(gè)領(lǐng)域?qū)η鍧嵳婵找筝^高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

螺桿真空泵

螺桿真空泵由泵蓋、泵體、圓盤(pán)，葉輪、機(jī)械密封、電動(dòng)機(jī)等零部件組成。進(jìn)氣管排氣管通過(guò)安裝在泵蓋上的園盤(pán)上的吸氣孔和排氣孔與泵腔相連，軸偏心地安裝在泵體中，葉輪用平鍵固定在軸上，螺桿真空泵兩端面的部間隙由泵體和園盤(pán)之間的墊來(lái)調(diào)整，葉輪與泵蓋上的園盤(pán)之間的間隙由園盤(pán)和泵體之間的墊來(lái)調(diào)整，葉輪兩端面與泵蓋上園盤(pán)之間間隙決定氣體在泵腔內(nèi)由進(jìn)氣口至排氣口流動(dòng)中損失的大小及其極限壓力。 螺桿真空泵的密封采用機(jī)械密封，機(jī)械密封安裝在葉輪和泵體間。由機(jī)械密封定出葉輪與泵體之間的間隙。在螺桿真空泵蓋上安裝有園盤(pán)，園盤(pán)上設(shè)有吸、排氣孔和柔性排氣閥片，柔性閥片的作用是當(dāng)葉輪葉片間的氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，在排氣口以前就將氣體排出，減少了因氣體壓力過(guò)大而消耗的功率、從而降低率消耗。

螺桿真空泵

螺桿真空泵有以下種類(lèi)

1.內(nèi)部壓縮型螺桿式：

除了使用一對(duì)非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃健５诤芏喙に囍?這種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一樣,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。

2.三葉圓裂片式：

三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同,它只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是象雙圓裂片式設(shè)計(jì)分為兩份。三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá),但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能力下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣,三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。

螺桿真空泵測(cè)試視頻圖集

3.雙圓裂片式：

雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上,一些最早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí),為了達(dá)到好的真空度,對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然,干式螺桿真空泵這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。

4.外部壓縮型螺桿式：

在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中,使用一對(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小,同時(shí)使得氣體通路最短也最簡(jiǎn)單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得其對(duì)氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液?jiǎn)單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/p>

5.組合式(羅茨+爪)：

組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一級(jí)改為設(shè)計(jì),這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就象三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。

螺桿真空系統(tǒng)與其他真空系統(tǒng)的對(duì)比